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双工作台高速固晶机 SL-861

主要特点

直线电机驱动独立双工作台
直控式电机驱动邦头
超大工作台设计
高速固晶--固晶周期200ms/Die
多晶圆盘设计
无间隙自动上下料系统,省去换料时间
中英文通用型界面,360°旋转显示器
自动固晶后检查,记录检查结果,可通过网络,U盘等处理数据,节省品质检查人员
详细介绍
卖点描述

双夹具独立工作台部分
(采用线性电机,独立驱动双工作台)

超大工作行程
最大XY行程 : 155MM×135MM


东方宇之光 SL-860系列 SL-861 高速固晶机 LED固晶机 双工作台固晶机
固晶机技术指标
Technical Specifications
设备型号 SL-861
系统能力
粘片精度X/Y ±1.3mil (33μm)
粘片精度θ向 ±3°
固晶周期 200ms
物料处理能力
晶片尺寸 6×6mil-50×50mil
(152×152μm-1270×1270μm)
漏晶检测方式 真空传感器
固晶系统
邦定及邦头选取形式 真空平面吸附
固晶压力 0.2-12N可控
点胶量 可调0.10-0.5mm
载具工作台
工作台数目 2个
行程范围 6″×5.5″(155×135mm)
晶圆处理系统
晶圆环外径尺寸 6″
扩张后最大晶圆尺寸 4.7″
晶圆工作台行程 7″×7″(180mm×180mm)
可选功能
上料方式 双夹具手动上料
晶圆盘数量 1-3个可选
所需设施
电压 200-220VAC 50/60HZ
压缩空气 200LPM@4BAR
功率 1000W
体积和重量
外型尺寸 长1360MM×宽1380MM×高1910MM
毛重 550KG
 注:所有以上参数的解释权归于东方宇之光公司